1. 按光学原理分为正向、反向二种,传统为反向;正向光路是在原来的光路体系基础上加棱镜后再二次折射而得,理论上会造成光路的衰减。
2. 按结构分为三种:
台式,紧凑型,行程较小,一般为立式光路体系;
立式,物镜光轴垂直于工作台面;
卧式,物镜光轴平行于工作台面;
3. 按投影屏的大小分类有:

Φ300mm型
Φ350mm型
Φ400mm型
Φ500mm型
Φ600mm型
Φ800mm型
Φ1000mm型
Φ1200mm型
4. 按性能分为三种
手轮测量-测微手轮精度低,没有快速移动
数据式-通过光栅尺把位移信号转换为数据模拟信号处理得出结果
数据处理测量-通过数据处理系统得出结果,并可导出数据。
5. 按工作台行程分
X*Y=50*50
X*Y=150*50
X*Y=200*100
X*Y=250*150
X*Y=250*200
X*Y=300*200
X*Y=400*300
卧式光路的Y为Z方向。
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